聚焦离子束高压电源

FOCUSED ION BEAM HV POWER SUPPLY

聚焦离子束(FIB)高压电源集成多输出通道的高精度高压电源。

系统包括:加速器电源,灯丝电源,抑制器电源,提取器电源以及透镜电源。电源具有极高的输出精度,时间稳定度,极低的温度漂移和纹波噪声。

聚焦离子束主要应用于沉积,粒子切割,透视;半导体分析、加工和维修;磁盘驱动器头平衡、离子束蚀刻和聚焦离子束印刷。

加速器电源
  • 输出电压:1 K ~ 30 KV
  • 设定分辨率:16 bit
  • 纹波噪声:< 60 mVp-p
  • 温度系数:10 ppm/K
  • 电压绝对精度:< 0.1 %
  • 输出电流:500 uA
  • 时间稳定度:20 ppm/h
灯丝电源
  • 输出电压:0 ~ 5 V
  • 设定分辨率:16 bit
  • 纹波噪声:< 10 mAp-p( For Full-Scall)
  • 温度系数:15 ppm/K
  • 电流绝对精度:0.01 A
  • 输出电流:0 ~ 4 A
  • 时间稳定度:25 ppm/h
抑制器电源
  • 输出电压:-0.05kV ~ -1.5kV
  • 设定分辨率:14 bit
  • 纹波噪声:< 20 mVp-p
  • 温度系数:25 ppm/K
  • 电压绝对精度:0.1%
  • 输出电流:≤ 110 uA
  • 时间稳定度:50 ppm/h
提取器电源
  • 输出电压:-0.6kV~ -12kV
  • 设定分辨率:16 bit
  • 纹波噪声:< 30 mVp-p
  • 温度系数:10 ppm/K
  • 电压绝对精度:< 0.1%
  • 输出电流:500 uA
  • 时间稳定度:20 ppm/h
静电透镜电源-A
  • 输出电压:-0.3k ~ -15kV
  • 设定分辨率:16 bit
  • 纹波噪声:< 100 mVp-p
  • 温度系数:25 ppm/K
  • 电压绝对精度:< 0.1%
  • 输出电流:100 uA
  • 时间稳定度:50 ppm/h
静电透镜电源-B
  • 输出电压:1.0k ~ -30kV
  • 设定分辨率:14 bit
  • 纹波噪声:< 150 mVp-p
  • 温度系数:25 ppm/K
  • 电压绝对精度:< 0.1%
  • 输出电流:100 uA
  • 时间稳定度:50 ppm/h
菜单