纳米团簇粒子源

纳米团簇粒子源基于长期纳米粒子研究领域的创新设计，通过标准的馈管和可更换的阴极靶实现快速的安装使用，广泛应用于各类高真空的纳米离子源应用领域。

针对HIPIMS  脉冲磁控溅射源的增加脉冲功率输出做了极大的提高和优化。