射频等离子体电源，是一些列用于气体放电的高频周期信号的电源。
涵盖从中频，高频（HF & VHF），到UHF波段，最高功率超过30KW的高频等离子体电源。
中频等离子体电源
- 可支持频率：380 KHz，400 KHz，430 KHz，800 KHz，2 MHz
- 可选额定功率：1 KW, 2 KW, 3 KW, 5 KW
- 频率稳定度：0.01% ~ 0.05 %
- 功率稳定度：1 %
高频等离子体电源
- 可支持频率：12.5 MHz，13.56 MHz，27.12 MHz，40.68 MHz，60 MHz，100 MHz
- 可选额定功率：满量程20 W ~ 10 KW
- 频率稳定度：0.05%，0.01% ， 0.005 %
- 功率稳定度：1 %，2 %
超高频(UHF)等离子体电源
- 可支持频率：300 MHz, 400 MHz, 450 MHz, 500 MHz, 2450 MHz
- 可选额定功率：满量程30 W ~ 3 KW
- 频率稳定度：0.05%，2 ppm(可选)
- 功率稳定度：1 %