射频等离子体电源

Radio Frequency Periodic Power Supply

射频等离子体电源,是一些列用于气体放电的高频周期信号的电源。

涵盖从中频,高频(HF & VHF),到UHF波段,最高功率超过30KW的高频等离子体电源。

中频等离子体电源
  • 可支持频率:380 KHz,400 KHz,430 KHz,800 KHz,2 MHz
  • 可选额定功率:1 KW, 2 KW, 3 KW, 5 KW
  • 频率稳定度:0.01% ~ 0.05 %
  • 功率稳定度:1 %
高频等离子体电源
  • 可支持频率:12.5 MHz,13.56 MHz,27.12 MHz,40.68 MHz,60 MHz,100 MHz
  • 可选额定功率:满量程20 W ~ 10 KW
  • 频率稳定度:0.05%,0.01% , 0.005 %
  • 功率稳定度:1 %,2 %
超高频(UHF)等离子体电源
  • 可支持频率:300 MHz, 400 MHz, 450 MHz, 500 MHz, 2450 MHz
  • 可选额定功率:满量程30 W ~ 3 KW
  • 频率稳定度:0.05%,2 ppm(可选)
  • 功率稳定度:1 %
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