电子枪高压电源

Electron Beam Power Supply

电子枪高压电源,通常是通过产生的高精度高压去加速一系列的电子枪的电子。

通常被高压电源加速的电子束,主要可用于扫描电子显微镜(SEM),电子探针(EPMA ),场发射俄歇电子能谱显微分析,关键尺寸扫描电镜,晶圆缺陷检测与瑕疵复查SEM,电子束光刻等应用。

电子枪高压电源除了提供用于加速电子束的高精度主加速高压电源,也有附加高稳定的灯丝电源,抑制器电源,引出电源,以及透镜电源。

主加速电源
  • 输出电压:± 30 K ~  ± 60 KV
  • 设定分辨率:12bit ~ 16 bit
  • 纹波噪声:< 2 ~ 9 ppm
  • 温度系数:3 ppm/K ~ 5 ppm/K
  • 电压绝对精度:< 0.5% ~ < 0.1 %
  • 输出电流:100 uA ~ 1 mA
  • 时间稳定度:5 ~ 100 ppm/h
灯丝电源 (Option)
  • 输出电压:0 ~ 5 V
  • 设定分辨率:12 ~ 16 bit
  • 纹波噪声:<5mA ~ 10 mAp-p @ 3A
  • 温度系数:10 ~ 200 ppm/K
  • 电流绝对精度:0.01 A
  • 输出电流:0 ~ 3.3 A
  • 时间稳定度:20 ~ 200 ppm/h
抑制器电源 (Option)
  • 输出电压:-0.03kV ~ -0.6 KV
  • 设定分辨率:14 bit ~ 16 bit
  • 纹波噪声:< 20 mVp-p ~ < 50 m Vp-p
  • 温度系数:25 ppm/K
  • 电压绝对精度:0.5 % ~ 1 %
  • 输出电流:≤ 150 uA
  • 时间稳定度:50 ppm/h
提取器电源 (Option)
  • 输出电压:0.2 kV~ 8 kV
  • 设定分辨率:16 bit
  • 纹波噪声:< 30 mVp-p ~ 100 mVp-p
  • 温度系数:5 ppm/K ~ 20 ppm/K
  • 电压绝对精度:< 0.1 % ~ < 0.5 %
  • 输出电流:≤ 200 uA ~ ≤ 1 mA
  • 时间稳定度:10 ppm/h ~ 50 ppm/h
其他可选电源输出
  • 静电透镜电源
  • 栅极电源
  • 偏置电源
菜单