在半导体等离子体刻蚀过程中,脉冲电源作为偏置电源具有多项优势,这些优势使其在精细加工和复杂结构制造中变得越来越重要。以下是脉冲电源在这一应用中的主要优势: 1.…
电源类&发生器
半导体脉冲功率开关器件综述
摘要:该文对应用于脉冲功率领域的特种半导体开关器件进行综述,具体包括反向开关晶体管(reversely switched dynistor,RSD)、漂移阶跃恢…
基于PFN-Marx技术的紧凑型重频脉冲功率源
摘要:针对低磁场相对论磁控管高功率微波器件实验驱动需求,对基于脉冲形成网络(PFN)储能的高功率脉冲产生技术进行了研究。为了使其结构紧凑且具有较好的输出脉冲波形…
感应叠加原理和技术介绍
感应叠加器是一种利用电磁感应原理实现电压叠加的装置,广泛应用于高功率脉冲电源、无线电能传输等领域。其基本工作原理是通过感应电压的叠加来提高输出电压,从而满足特定…
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